半導(dǎo)體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器

產(chǎn)品型號(hào): EG-3000

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器
日本 ejooo 臺(tái)式高精度臭氧濃度顯示器 EG-3000 是一款實(shí)驗(yàn)室 / 潔凈間級(jí)專用臭氧監(jiān)視器，適用于半導(dǎo)體、液晶、水處理、食品殺菌等場(chǎng)景的在線監(jiān)測(cè)與數(shù)據(jù)記錄。核心信息如下：
測(cè)定原理
紫外吸收法（UV-254 nm），符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求，零點(diǎn)無漂移，無需化學(xué)試劑。
量程與精度
標(biāo)準(zhǔn)量程：0 – 1

半導(dǎo)體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器

日本 ejooo 臺(tái)式高精度臭氧濃度顯示器 EG-3000 是一款實(shí)驗(yàn)室 / 潔凈間級(jí)專用臭氧監(jiān)視器，適用于半導(dǎo)體、液晶、水處理、食品殺菌等場(chǎng)景的在線監(jiān)測(cè)與數(shù)據(jù)記錄。核心信息如下：

測(cè)定原理
紫外吸收法（UV-254 nm），符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求，零點(diǎn)無漂移，無需化學(xué)試劑。
量程與精度

標(biāo)準(zhǔn)量程：0 – 1.000 ppm（Vol）
可選量程：0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm（EG-3000-H）
分辨率：1 ppb（0.001 ppm）
線性度：±1 % F.S.
重復(fù)性：±0.5 % F.S.
響應(yīng)時(shí)間：T90 ≤ 30 s（樣氣流量 0.8 L/min）

樣氣條件

流量：0.5 – 1.0 L/min（內(nèi)置泵抽吸）
溫度：5 – 45 ℃
濕度：＜ 85 %RH（無凝露）
壓力：大氣壓 ±10 kPa（可配減壓閥）

顯示與輸出

7 英寸彩色觸控，實(shí)時(shí)數(shù)字 + 曲線同屏
單位切換：ppm / mg/m3 / ppb
接口：USB ×2、RS-485（Modbus-RTU）、4-20 mA、報(bào)警接點(diǎn) ×2
數(shù)據(jù)記錄：內(nèi)置 8 GB，1 s – 60 min 間隔，CSV 導(dǎo)出

功能特點(diǎn)

自動(dòng)校零：內(nèi)置臭氧洗滌器，一鍵校零，無需外接零氣
自動(dòng)跨度校準(zhǔn)：可選內(nèi)置臭氧發(fā)生器（EG-3000-CAL），5 min 完成 0.8 ppm 跨度標(biāo)定
高低報(bào)警：可設(shè)兩級(jí)閾值，聲光 + 繼電器輸出
菜單語言：日/英/中切換
臺(tái)式/面板兩用：附折疊支架，亦可 96 × 96 mm 面板嵌入

應(yīng)用示例

半導(dǎo)體潔凈室：光刻、清洗工序 O? 殘留監(jiān)測(cè)
液晶面板：干法蝕刻后臭氧分解設(shè)備效率確認(rèn)
水處理：臭氧接觸池尾氣 0-1 ppm 監(jiān)控
食品/醫(yī)療：殺菌室泄露檢測(cè)，確保 < 0.1 ppm 人員安全限

維護(hù)與耗材

UV 燈壽命：約 8 000 h（可現(xiàn)場(chǎng)更換）
臭氧洗滌器顆粒：每 12 個(gè)月更換一次
進(jìn)氣過濾器：每 6 個(gè)月更換（可水洗重復(fù)使用 2 次）

主機(jī)規(guī)格

尺寸：W 220 × D 280 × H 120 mm，重量 3.2 kg
電源：AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
防護(hù)：IP30（可選 IP54 攜帶箱）

一句話：EG-3000 采用 UV-254 nm 吸收法，0-1 ppm 段分辨率達(dá) 1 ppb，內(nèi)置泵與自動(dòng)校零，可臺(tái)式或面板安裝，適合半導(dǎo)體、液晶、水處理等場(chǎng)景對(duì)臭氧進(jìn)行高精度在線監(jiān)視與數(shù)據(jù)記錄。